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特点：●百级无尘车间中，适用于单面点接触式清洗LCD玻璃、PCB以及其它半导体材料。●设备主要包括传输机构，空气清洁系统，过滤循环装置，电器系统等组成。●化学清洗配备高效循环过滤系统，保证玻璃表面的清洁度，提高清洗效率，降低使用成本。●在线式清洗，可实现大批量生产。●不锈钢+亚克力组合机身，清洗作业流程可视。顶部可升降，方便维护保养机器。●多种配置模式： 化学清洗+真空发生器（干燥） DI水清洗+真空发生器（干燥） 400KH z—1MHz 超声波频率（可选）
技术参数:适用工件尺寸： min : 110(L)*45mm max : 600(L)*800mm（W）有效清除率：90%以上（5um）外部气源：0.45-0.7Mpa耗气量： 400-600 L/Min液体加热功率: 3KW清洗过滤精度：0.10μm 电源供应：AC/220V/50HZ /20A机器净重：300Kg外形尺寸： 820mm(L)×1170mm(W)×1800mm(H)
在线式Nanotech半导体清洗机